한국에너지기술연구원은 CCS연구단 이신근 박사 연구진이 반도체, 디스플레이 생산 공정에서 발생하는 온실가스를 낮은 온도에서도 안정적으로 분해할 수 있는 새로운 촉매 개발에 성공했다고 21일 밝혔다.

에너지연에 따르면 대한민국의 주력 산업인 반도체와 디스플레이 산업은 최근 AI 및 가상현실 분야의 중요성이 강조되며 지속적인 성장을 예고하고 있다. 하지만 반도체와 디스플레이 생산 과정에서 이산화탄소 대비 온실효과가 5천배 이상 높은 사불화탄소(CF4), 헥사플루오로에탄(C2F6) 등이 배출돼 환경에 악영향을 미치고 있다.

이를 해결하기 위해 업계에서는 연소, 플라즈마 방식 등 온실가스를 제거하는 기술을 활용하고 있지만, 연소방식은 이산화탄소가 발생한다는 문제가 있고 플라즈마 방식은 대량의 전기가 필요해 대용량 처리에 한계가 있다.

연구진은 기존 촉매 반응의 한계를 극복하기 위해 최적의 촉매 조성을 적용하고 기존 촉매보다 낮은 온도에서 4천시간 연속으로 운전해도 성능이 유지되는 촉매를 개발하는 데 성공했다.